《纳米技术与精密工程》（CN：12-1458/O3）是一本有较高学术价值的大型季刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。

《纳米技术与精密工程》主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者。

纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量

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1.注释：解释题名、作者及某些内容，均可使用注释。能在文章内用括号注释的，尽量不单独列出；不随文列出的注释，标注符号应注在需要注释的词、词组或语句的右上角，用①，②，③……表示，并于文后依次列出。

2.摘要不能有作者未来的研究计划，不能出现图、表、参考文献序号和缩写词（相关专业读者能清楚理解的除外），尽量不要出现数学公式。

3.插图要简明、清晰、与文章中说明问题对应，除去不必要的多余部分。

4.文稿应资料可靠、数据准确、具有创造性、科学性、实用性。应立论新颖、论据充分、数据可靠，文责自负(严禁抄袭)，文字要精炼。

5.来稿请附作者姓名、出生年月、性别、籍贯、单位，职务、学位、研究方向及详细通讯地址、邮政编码、电话、电子邮箱等。

• 金属基压电扫描振镜的设计与测试

  本文设计了一维金属基压电扫描振镜并进行了性能测试．该振镜利用金属微铰链梁将压电振子的伸缩振动转化为硅反射镜的旋转振动，具有扫描角度大、可靠性高、成本低廉的特点．首先，建立了压电振镜的有限元模型，通过模态分析和谐振响应分析得到了振镜的谐振模态以及扫描角度极限随铰链梁尺寸和位置的变化关系．接着，制备了由压电振子、钢片基底...

  作者：马玉婷 陈忠祥 王策 严心涛 刊期： 2016年第01期

• 基于机器视觉的半球面微小孔位置的精密测量系统

  针对精密零件的半球表面上微小功能孔的位置测量需求，研制了一套基于二维扫描机构、图像获取单元和精密隔振工作台的机器视觉测量系统．本文提出了基于二维正交旋转扫描测量微小孔孔间位置的理论方法和数学模型，探讨了在图像处理过程中小孔边缘的提取算法以及小孔空心位置的计算方法．为了验证测量系统对半球面微小孔位置的测量能力，实验中选...

  作者：黄劼 许斌 刊期： 2016年第01期

• 高刚度气体静压导轨设计分析

  采用有限差分法求解气体静压润滑的二维Reynolds方程，其静态特性规律显示减小节流孔径可以提高气体静压导轨刚度，但是减小了气膜最佳工作间隙，对节流面的面形精度提出了更高的要求．采用直径50μm的节流孔，在50mm×50mm的滑块上实现了50N／μm的最大刚度，并且试验结果与理论计算基本一致，从工程上验证了减小节流孔径实现高刚度的可行性．根据...

  作者：陈小刚 彭小强 铁贵鹏 关朝亮 郭蒙 刊期： 2016年第01期

• 基于核密度估计的纳米线识别和定位

  针对基于扫描电子显微镜（SEM）的纳米操作系统中，SEM图像噪声大，难以实现小目标物体（纳米线）的识别等问题，利用核密度估计来识别纳米线，以实现其精确定位．首先，利用核密度估计实现阈值分割，以便实现纳米线提取；然后，利用图像处理中的细化算法，获取纳米线的中线方程；最后，利用纳米线的中线方程和纳米线图像，用基于梯度方向高斯曲...

  作者：李东洁 王德宝 张越 刊期： 2016年第01期

• 基于扭转谐振模式3D-AFM的微结构侧壁形貌检测

  针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求，设计了一套三维原子力显微镜（3D-AFM）系统．该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针，以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描．介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理，对系统的横向检测灵敏度进行了标定，获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的变化曲线．利用该系统对栅格标样侧...

  作者：刘璐 徐建国 吴森 张锐 徐临燕 胡晓东 刊期： 2016年第01期